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1. 摘要在最近的几十年里COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。2. 建模任务采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)6. 3D仿真与结果对比7. 走进VirtualLab Fusion8. VirtualLab Fusion的工作流程 构造光栅结构- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例]- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 计算光栅结构内部的场分布9. VirtualLab Fusion技术10. 文件信息 集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
1. 摘要在最近的几十年里COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。2. 建模任务采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)6. 3D仿真与结果对比7. 走进VirtualLab Fusion8. VirtualLab Fusion的工作流程 构造光栅结构- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例]- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 计算光栅结构内部的场分布9. VirtualLab Fusion技术10. 文件信息